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圖案化藍寶石

藍寶石晶片透過半導體蝕刻製程在表面製作出規則凹凸的形狀,破壞光在LED內部反射的路徑、減少全反射
的發生,同時減少磊晶層缺陷密度,進而達到提高LED亮度與光萃取率。圖案化藍寶石首先利用黃光微影定
義出規則排列、尺寸精準的光阻遮罩,隨後再由蝕刻製程去除部分的材料以獲得所設計的結構。佳晶科技所
生產2~6吋圖案化藍寶石基板可針對客戶需求製作各式微奈米陣列圖形,有效增加LED光取出率28~45%



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